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复合磁场ARC8电弧工模具真空镀膜机
详细信息
复合磁场ARC8电弧工模具真空镀膜机 是针对小型模具、刀具、铣刀、钻头等产品开发的真空镀膜机，采用8个直径150mm的弧源组成，磁场设计为永磁和电磁复合磁场，膜层组织细腻，颗粒小，弧斑运动速度更快、实现高效沉积。
具体技术规格如下：
| 真空室尺寸 | Ø1100mm * H1000mm |
| 极限真空度 | 3.0*10-4Pa |
| 压升率 | 0.33Pa/hr（常态） |
| 冷却水 | 6ton/hr |
| 占据空间 | 3*3*2.5m3 |
| 真空室 | 304不锈钢，单层内衬，五年质保 |
| 抽气系统 | 进口分子泵+Leybold粗抽泵+罗茨泵 |
| 真空检测 | 英福康CDG045D薄膜规 |
| 流量控制 | Brooks/MKS/AE/汇博隆可选 |
| 转架 | 可拉出下转架 |
| 磁控溅射 | 平面溅射靶安装孔位两个（可选配） |
| 阴极电弧 | 4组（8套）（靶材规格150*20） |
| 偏压电源 | 德国霍廷格偏压Huettinger Bias 36KW |
| 加热系统 | 最高500度，3根热电偶监测 |
| 冷却水循环系统 | 配日本SMC水流开关，智能控制 |
| 电气元件 | 日本三菱PLC、端子、施耐德等空开、接触器。 |
